超聲波物聯傳感器#農業效率《氣象支持》

　　超聲波物聯傳感器#農業效率《氣象支持》??????? #????<????>氣象傳感器在天氣預報、高速公路、船舶航行、機場、軍事等方面有巨大需求，其核心技術長期被國外壟斷，嚴重制約了我國氣象傳感器及其相關行業的發展，因此，必須解決關鍵技術難題：

　　復雜性，氣象傳感器涉及氣壓、風速風向、濕度等多種敏感原理，面臨復雜的設計、制造、封裝等問題;

　　可靠性，氣象傳感器需要長期在野外工作，面臨灰塵、腐蝕等惡劣環境下工作的可靠性問題。

　　在國家自然科學基金、國家863計劃等支持下，本項目系統地開展了氣象傳感器設計理論、關鍵技術研究，較好解決了上述技術難題，并成功應用于氣象傳感器及其系統研制和批量生產中。

　　主要創新如下：

　　1. 在國際上研究并提出了基于面積變化和介電伸縮效應的MEMS電容式氣壓傳感器結構，保證了傳感器輸出的線性度;了二氧化硅介電伸縮系數的懸臂梁測試結構，獲取了介電伸縮系數基礎數據;提出了帶微孔濾膜的電容式氣壓傳感器封裝方法，提高了傳感器環境適應性。

　　2. 了JD-WQX5風速風向傳感器的測溫方法和深槽隔熱結構，提出了風速風向傳感器的溫度自平衡測控方法，解決了長期以來風速風向傳感器量程難以提高的技術難題;了風速風向傳感器的陶瓷圓片封裝技術，保障了傳感器工作的可靠性。

　　3. 了JD-WQX5濕度傳感器片上集成多晶硅加熱電阻結構，縮短了濕度傳感器的脫附時間;了氮化硅包覆鋁電的結構，有效防止了聚酰亞胺吸水而腐蝕鋁電，突破了濕度傳感器長期工作穩定性的技術瓶頸。

　　4. 建立了JD-WQX5器件-封裝結構溫度效應模型，提出了微懸臂梁接觸長度的測量結構，了微懸臂梁疲勞特性的測量方法，實現了MEMS結構與器件的溫度、濕度、振動可靠性測試和評估。

　　5. 了前向散射式能見度檢測器大氣散射信號測量技術，開發了前向散射式能見度檢測器系統。

　　獲中國授權43項;制訂國家行業標準1項;出版英文叢書1章;發表論文138篇(SCI 26篇、EI 138篇)、SCI他引152次;在國內會議大會報告2次、在國外會議邀請報告2次。